三氯氢硅（TCS）气相色谱分析进样的解决方案（色谱气体保护仪）

一、样品特点

     【半导体行业】三氯氢硅（TCS）又称三氯硅烷、硅氯仿，是卤硅烷系列化合物中最重要的一种产品，沸点为31.8℃、极易水解、冒白烟、有盐酸气味、有毒，三氯氢硅气体与氧气或空气的混合物极易燃烧，燃烧后会产生二氧化硅、氯化氢和氯气；极易挥发，在空气中发烟，遇水或水蒸气能产生热和有毒的腐蚀性烟雾。

      在空气中自燃：   2SiHCL3+2H2O+O2=6HCL+2SiO2（固体颗粒）

二、色谱分析进样困难

      样品氮封后放进自动液体进样器样品盘上，气相色谱仪进样针在抽取样品时由于针内含有空气，进样针内的样品易发生自燃，破坏样品，分析结果不准确，同时生成的二氧化硅固体颗粒会堵塞进样针，需要不断更换新的进样针，生成的盐酸会腐蚀进样口和色谱柱，需要频繁维护进样口和更换色谱柱，分析成本大大增加。

三、解决方案：

产品名称：色谱气体保护仪（又称自动进样器保护仪）

产品型号： P-5

惰性气体：氦气

四、方案优势：

1、双通道自由切换，充气通道，流量大，置换快，1min即可完成置换，补气通道，流量小，节省气；

2、可以通过气相色谱仪控制氦气气源的开关，进完样品可以自动关闭，运行下一个样品前自动打开氦气，节省氦气；

3、看得见的氧气，氧气浓度可以实时显示，低于安全值时再进样，确保不会自燃；

4、配备高精密度测氧仪，带存储功能，历史数据可以追踪；

5、采用扁平化设计，桌面占用少；

6、运行样品时，可以实现自动打开氦气和自动关闭氦气开关，进样前自动打开氦气，进完样自动关闭氦气，最大程度节省氦气；

7、样品与空气隔离后，不会产生二氧化硅固体颗粒堵塞进样针，不会产生腐蚀性气体腐蚀进样口和色谱柱，避免频繁维护，大大降低分析运行成本。

配备高精度测氧仪（带储存功能）

扩展：该方案同样适用于 双（二乙基氨基）硅烷(BDEAS)  、二碘硅烷等需要隔离空气样品的色谱分析

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